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一、单晶硅太阳能电池
以高纯单晶硅棒为原料的太阳能电池，目前发展较快的一种太阳能电池。其结构和生产工艺已经定型，产品已广泛应用于太空和地面。单晶硅太阳能电池的光电转换效率为15%，实验室结果有20%以上.
二、非晶硅太阳电池
非晶硅太阳能电池制造温度极低（~200℃），易于实现大面积等优点，使薄膜太阳能电池在光化学气相沉积、电子回旋共振、直流辉光等制造方法，特别是射频辉光放电法是公认的成熟技术，其工艺温度低（~200℃），易于实现大面积、大批量的连续生产。中占据首位放电法、溅射法、射频辉光放电法和热灯丝法。
三、多晶硅太阳能电池
单晶硅电池转换效率高、寿命长和非晶硅薄膜电池材料制备工艺相对简单等优点的蓄电池，其转换效率一般在12%左右，不存在明显的效率下降问题，略低于单晶硅太阳能电池，且可制备廉价的衬底材料，且效率高于非晶硅薄膜电池成本远低于单晶硅电池的成本。